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台积电:部分客户已用上7nm和5nm性能增强制造工艺

Olivia 2019-07-31 11:55

据外媒报导,在日本举办的 2019 VLSI 研讨会上,台积电透露部分客户已可以用上 7nm 深紫外(N7 / DUV)和 5nm 极紫外(N5 / EUV)性能增强版本制造工艺。

据悉,N7P 采用经过验证的深紫外(DUV)光刻技术。与 N7 相比,它没有增加晶体管的密度。

需要高出约 18~20% 晶体管密度的客户,预计需要使用台积电的 N7+ 和 N6 工艺 —— 后者使用极紫外(EUV)光刻技术进行多层处理。

尽管 N7 和 N6 都是未来几年的“长”节点,但台积电会在下一个 N5 节点带来显著的密度、功耗和性能改进。

同样,N5 之后也会迎来一个叫做 N5P 的增强版本,辅以 FEOL 和 MOL 优化,以便让芯片在相同功率下提升 7% 的性能、或在同频下降低 15% 的功耗。

N7P 和 N5P 技术专为那些需要运行更快、能耗更低的客户而设计。尽管 N7P 与 N7 的设计规则相同,但新工艺优化了前端(FEOL)和中端(MOL)制程,可在同等功率下将性能提升 7%、或在同频下降低 10% 的功耗。

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