据韩联社报导，多名业内人士22日接受电话采访时表示，昨天有一批日本光致抗蚀剂被空运至韩国。这是日本上月4日对韩采取限贸措施的49天里首批运抵韩国的日产光致抗蚀剂。

据悉，本月初日本批准日企提出的向韩国出口光致抗蚀剂的个别许可。这批产品将运往三星电子华城半导体工厂极紫外光微影生产线。分析指出，日本政府近日第二次批准对韩出口光致抗蚀剂，最多可供三星电子使用9个月，极紫外光微影生产线的开工在短时间内不会出现问题。

但尚无一家日企获得高纯度氟化氢、氟聚酰亚胺出口许可。业内人士表示，光致抗蚀剂用于军事目的的可能性极低，日本政府也没有限制出口的理由，但不能说不确定性完全得到消除。

另外，因政府管制阻挠对韩出口，日本材料厂商向三星电子等韩国企业请求配合，并考虑通过第三国出口等各种方案。