台积电公告称，将投入 8.6 亿元新台币（约2932万美元），向太阳能厂益通购买南科厂房与附属设施，累计已投入逾 51 亿元新台币在南科买厂；至于购买益通厂房用途，台积电称是为因应南科营运需求。

购买的南科厂房位于台南市新市区南科二路 8 号的厂房，建物面积约 1.3 万坪，供营运与生产使用。在购买益通厂房前，台积电 8 月 12 日才向偏光板厂力特买下南科厂，建坪超过 5.4 万坪、占地逾 2.2 万坪，厂房位置就在台积电南科厂隔壁，由于台积电原先就承租该厂部分用地，直接由租转买，可能是为了先进封装产能扩产预作准备。

台积电 7 nm制程生产基地为中科 15 厂，5 nm主要在南科 18 厂生产，两者均已量产，而 3 nm也计划落脚南科 18 厂，规划 2021 年试产、2022 年下半年量产。为因应扩产需求，台积电除了积极在南科买厂，更是砸千亿台币采购EUV设备。

据了解，台积电近年累计采购EUV设备近30台，以5/3纳米制程为主的南科据点共约20多台，随著2纳米已投入研发，采购手笔持续扩大。台积电已是ASML最大客户，因此ASML南科培训中心规模目前优于韩国，在台投资、EUV技术设备支持与相关人才培育不停歇。

ASML客户支持全球执行副总裁Wayne Allan亦表示，ASML预期亚洲的EUV装机量将持续成长，将技术培训中心设置于亚洲，将可让客户以最精省的成本和时间培养所需的EUV工程师来支持先进制程开发与量产。