据外媒报道，ASML更先进、效率更高的高数值孔径极紫外光刻机---NXE:5000 系列设计已基本完成，预计在 2022 年开始商用。

作为一款高数值孔径的极紫外光刻机，新系列的数值孔径将提高到 0.55，而ASML目前已推出的 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 这两款极紫外光刻机数值孔径为0.33。

ASML是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商，此前在财报中披露了极紫外光刻机 TWINSCAN NXE:3600D计划在2021年年中开始出货，生产效率较目前的产品提升18%。