2021年ASML EUV光刻机产能将达到45-50台规模

Andrew 2021-01-05 14:51

据媒体报道，最新数据显示，ASML在去年12月中完成了第100台EUV光刻机的出货。业内预估ASML 2021年的EUV光刻机产能将达到45-50台的规模。

另外，ASML定于明年中旬交付最新一代EUV光刻机TWINSCAN NXE:3600D，生产效率提升18%、机器匹配套准精度改进为1.1nm，单台价格或高于老款的1.2亿欧元（约合9.5亿元人民币）。

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