SK海力士目标打造5级自动化水平晶圆厂，提升效率，降低成本
Andrew 2021-02-05 17:09据韩媒报道，SK海力士近日表示该公司正与设备行业及学术界合作使其300mm晶圆厂实现接近5级的自动化水平。
当前新建的晶圆厂的自动化水平通常为3-4级，SK海力士的目标是建设5级自动化水平晶圆厂，并努力使微缩制程变得更加智能，其生产率水平远超人工，从而降低成本。
SK海力士负责人表示，在半导体生产过程中可能发生许多变量使自动设置时间和路线变得困难，而这其中不仅需要设备和硬件技术，也同样需要软件技术。
