三星电子投资EUV模板保护膜研发公司,金额达430亿韩元
Andrew 2021-03-02 18:06据韩媒报道,三星电子继续加强国内半导体生态系统建设,并于近日投资了一家生产EUV模板保护膜的公司FST。
FST近日宣布,它将向三星电子提供分配给第三方的实收资本,以确保新产品开发和批量生产的准备所需的财务资源,金额约为430亿韩元。
FST主要研发用于保护EUV模板的保护膜材料,如果产品顺利实现量产能够帮助三星电子有效降低成本。
对此,FST公司每年都增加研发投入,其研发投资与销售额比例2017年为2.17%,2018年为3.19%,2019年为4.65%。其目标是在今年上半年生产出EUV模板保护膜原型产品。
目前,三星一直使用无薄膜保护的EUV掩膜板,由于掩膜板价值昂贵,因此,若使用薄膜能够增加掩膜板的使用次数,则可以极大降低成本。