据媒体报道，3月21日，瑞萨电子召开新闻发布会时表示，初步认为起火原因是N3大楼一楼的电镀设备因为电流过大而起火，因为设备的外壳与电镀槽的耐热性相对较低，如果电流过大就会有起火的危机。只不过现在还未能确定电流过大的原因。

瑞萨表示，“将尽一切努力在一个月内恢复生产，在某些方面也有一些不确定性，说明存在推迟的可能。”

信息显示，受火灾影响的生产项目中有三分之二是车载芯片，在当前车用芯片都处于极度短缺的之时，瑞萨此次事件无疑将加剧这种态势。

瑞萨在声明中指出，茨城工厂起火时间是于当地时间3月19日凌晨2点47分，起火地点则是位于厂区内的N3大楼，火势于3月20日上午8点12分才扑灭。

据报道，在受到火灾后，工厂内的纯水供给装置与空调装置、还有电镀槽都受到毁损。火灾面积约600平方公尺，一楼厂区约12,000平方公尺，火灾影响大约5%面积；场内机台损失约11台，占12英寸机台数2%，产线上损失还在确认中，预估需要一周的时间。