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三星DRAM产线采用本地企业生产的光刻胶

AVA 2021-03-26 10:03

据韩媒报道,韩国半导体材料公司东进半导体化学已经向三星提供了氟化氩光刻胶,这是自2019年7月日本宣布对韩国进行出口管制之后半导体材料本地化的成功案例之一。此外,报道称,东进化学将继续扩大其光刻胶产品阵列。

业内人士表示,自去年底以来,东进化学一直向三星DRAM生产线供应氟化氩浸润式光刻胶。

在半导体制造过程中,光刻胶是不可缺少的材料,用来在硅晶圆上转印电路图案。

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