据韩媒DDaily报道，日前，SK海力士利川M16工厂3名工人在检查设备的过程中因毒性物质氟酸泄露受伤。据悉，一名工人被烧伤胳膊和腿，另外两名因吸入氟化氢而被送往医院，三名均无生命危险。

报道称，4月6日上午11点34分时，在京畿道利川市SK海力士 M16工厂5楼的设备进行检查期间，发生氢氟酸泄漏事故。

M16是SK海力士的新工厂，于今年2月完工，累计投资达3.5万亿韩元，主要用于生产DRAM产品。新工厂的建筑面积大57000平方米，是SK海力士在全球最大的生产基地。

M16的特别之处在于首次引进了EUV光刻设备，并从今年下半年开始生产1αnmDRAM产品。