据韩媒报导，韩国叠层测量设备公司Oros Technology最近获得了一家中国存储半导体公司作为客户。这家公司于去年底完成了叠加测量设备的演示测试，Oros Technology已于年初开始提供设备。

Overlay测量设备是测量晶圆上下层的电子电路图案是否准确对准的设备。它通过以纳米为单位检查图案之间的误差并校正曝光机的位置，直接影响半导体的良率。由于技术难度高，目前能够量产叠加测量设备的企业只有3家：韩国的Auros Technology和美国的KLA以及荷兰的ASML。

Overlay已成功完成了韩国各大存储公司在DRAM工艺中进行的demo测试，并开始提供设备。此外，据了解，Oros Technology也正在商讨客户晶圆厂扩建后的后续产品供应。