据韩媒报道，三星电子与ASML已达成初步协议，将在韩国建设研发设施，联合投资1万亿韩元（约合7.6亿美元）。该研发中心建成后将成为ASML首个与半导体公司联合建立的海外研究机构。

据双方签署的谅解备忘录显示，两家公司将联手开发基于ASML最新极紫外 (EUV) 设备的先进存储芯片。双方拒绝透露研发中心的持股比例以及两家公司如何分配支出等细节。

此外，SK海力士与ASML签署了一份谅解备忘录，共同开发用于制造EUV设备的氢气回收技术。氢气回收预计可将每单位 EUV 的能耗降低 20%。