ASML第一台高NA EUV光刻机到货，英特尔向1.8nm工艺迈进
Andrew 2024-01-08 11:18据媒体报道，英特尔宣布位于俄勒冈州的晶圆厂已经收到ASML发货的全球第一台高NA(数值孔径) EUV极紫外光刻机，型号为“Twinscan EXE:5000”。
据悉，这台最先进的EUV光刻机将用于计划今年量产的Intel 18A制造工艺，也就是1.8nm级别。
报道称，新款光刻机的价格估计至少3亿美元，甚至可能达到或超过4亿美元，ASML将在2024年生产最多10台新一代高NA EUV光刻机，其中Intel就定了多达6台。
