日前，至纯科技发布公开发行A股可转换公司债券预案，拟发行不超3.56亿元可转债，扣除发行费用后的净额用于投资半导体湿法设备制造项目以及晶圆再生基地项目。

公告显示，晶圆再生基地项目投资总额为3.2亿元，拟投入2.36亿元募集资金，项目建成后将主要开展再生晶圆的加工服务，达产后将实现年产12英寸硅再生晶圆168万片的产出能力。据合肥日报报道，该项目落户合肥后，将为晶合、长鑫等集成电路企业配套提供测试片、挡控片等晶圆的研磨再生服务，后期将开展电子产业相关设备的研发与生产，填补安徽省内空白。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司成立于2000年，于2017年在上交所挂牌上市，主要为集成电路、平板显示、生物医药等行业配套进行高纯工艺系统与高纯工艺设备的设计、加工制造以及配套服务，客户包括上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微等企业。