今日据媒体报道，ASML推迟向中芯国际交付EUV。据悉此订单是在去年订购，预计在2019年12月完成交付。

对此，中芯国际方面7日下午称：“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。”据了解，中芯国际目前量产的最先进制程为14nm，12nm已经取得重大突破。而EUV光刻机主要用在7nm及以下制程。

ASML第一时间回应表示，该公司向一家中国客户出口其最先进的设备之一的许可证已经到期，正在等待荷兰政府批准新的许可证。ASML发言人Monique Mols进一步解释称，这台设备的价格大约为1亿欧元，“ASML只是在遵守法律，法律明确指出，只有在拥有出口许可证的情况下才能够将EUV设备运输出去”。