据媒体报道传三星电子正着手进行5nm晶圆代工产线投资，并已对主要设备厂商下单，预定在华城厂区内的晶圆代工厂V1建设5纳米产线，产线完工日期推估在6月底，正式稼动最快于2020年底或2021年初进行。

三星电子在2019年4月宣布成功研发出5纳米制程技术，若以极紫外光(EUV)技术搭配5纳米制程，逻辑面积可比7纳米制程缩小25%，功耗提升20%。

目前，台积电和三星是业内仅有发展5nm先进制程的厂商，近日有消息称台积电5nm制程将在4月份大规模量产，首批产能已经被抢光。有目前来看，台积电在先进制程上仍然领先三星，但是，去年三星发布在2030年前成为全球晶圆代工龙头，其决心不可小觑，相信也会在这方面持续投资。