氟化氢成韩国半导体原材料国产化样本?相关业者营收增长显著
Mavis 2020-03-30 10:27自去年7月份日本向韩国实施包括氟化氢、EUV光刻胶和氟化聚酰亚胺三种半导体原材料出口禁令以来,韩国半导体业者一直致力于推动半导体材料本地化进程。其中氟化氢效果最为显著。
据韩媒报道,2019年韩国液态氟化氢业者Soulbrain营收为1.02兆韩元(约8.3亿美元),营业利益1,742亿美元,是Soulbrain首度达成营收1兆韩元目标。RAM Technology 2019年10月开始对SK海力士(SK Hynix)供应氟化氢,2019年营收为430亿韩元,营业利益45亿韩元,其中营业利益年增111.1%。ENF Technology 2019年营收4,810亿韩元,营业利益596亿韩元,营业利益年增67.4%。
除了在营收绩效上,相关企业进步显著之外,其投资扩产的脚步也明显加快。其中,Soulbrain在忠清南道公州兴建氟化氢工厂,为三星电子(Samsung Electronics)与SK海力士供货。RAM Technology与SK海力士存在紧密合作,2019年10月开始生产出货之后,2020年3月进一步提高产量,最近更宣布投资300亿韩元欲进行机台增设,似乎有意将产品项目由液态氟化氢再增加气态氟化氢。
一直以来,电子级氟化氢市场Stella Chemifa、森田化学工业(Morita Chemical Industries)等日本业者主导,韩企实现国产自制有望挑战日本企业的垄断地位。
此外,在EUV光刻胶方面,也动作频繁。此前有报道指出,三星积极寻求极紫外光(EUV)曝光制程中的关键材料,传有意导入美国Inpria研发的无机光刻胶用于5nm以下制程研发。杜邦已决定在韩国建立“EUV光刻胶开发和生产设施”,计划将在明年投资2800万美元(约合325亿韩元),目前已经向韩国工业和能源部提交了报告。
除三种管制限令中的材料以外,韩国业者也积极推动像高端掩模板这样其他材料的国产自制,SKC已于上周宣布,已在其位于忠清南道天安市的工厂开始生产高端掩模板原型。