三星计划今年底导入Inpria无机光刻胶，有望应用于5nm制程

AVA 2021-07-26 14:42

据韩媒报道，三星正致力于推动光刻胶供应多元化的实现，目前正计划申请使用美国Inpria公司的无机光刻胶。

Inpria是全球唯一制造无机光刻胶的企业，能够帮助实现超精细半导体电路。三星计划加强EUV工艺实力，而光刻胶领域对日本依赖又比较严重，因此其积极推动光刻胶供应多元化。