据外媒报道，近日，半导体设备巨头ASML位于德国柏林的一处工厂发生火灾，所幸并无人员伤亡。

ASML指出，发生火灾的工厂过去为ASML的供应商Berliner Glas所有，其为ASML的曝光设备生产其中的零组件，最后使得曝光设备能用于生产制造半导体芯片上。而 Berliner Glas 所生产的零组件主要包括晶圆台 (wafer tables)、光罩盘 (reticle chucks)、以及反射镜 (mirror blocks) 等产品。而Berliner Glas 在 2020 年为 ASML所收购，当时该公司的年营收约为2.3亿欧元。

ASML表示，将在未来几天内统计火灾损失，待统计完毕后结果将第一时间对外公布。