据韩媒报道，三星电子已为平泽半导体生产基地P5晶圆厂集群的首个阶段PH1订购了70余台光刻机，为该阶段2027年的投运做好准备，总金额高达10万亿韩元（约67亿美元）。

报道称，三星向ASML订购了约20套用于10nm以下先进制程的极紫外光（EUV）光刻机，同时还向ASML和日本佳能订购了约50台DUV光刻机，使得此次总订购规模达到约70台。

这些设备主要用于平泽园区P5工厂的产线，用以提升10nm级第六代1c DRAM制程的产能。随着1c DRAM制程的生产效率提高，采用该制程技术所生产的HBM4 产量也将随之提升。

据悉，三星此次订购的光刻机预计将配合2027年第一季建成的P5一期项目的无尘室投入使用。考虑到半导体设备从下单到发货通常需要约一年时间，预计三星将在2027年第二季将包括EUV 在内的光刻机设备导入P5 工厂无尘室。因此，2027年下半年三星的1c 制程DRAM 及HBM4 产能有望大幅提升。